光声光谱法AOM（声光调制器）评估物理特性
光声光谱法AOM（声光调制器）评估物理特性（PDF下载）
● 光热转换法 ● 半导体 ● 成像 ● 光声显微镜（PAM） ● 声光调制器（AOM）
光声法是将通过向试样照射光而生成的热能转换为压力变动，用麦克风作为音响信号进行测定的方法。用于检测半导体制造过程中的缺陷、测量不透明物质的吸收光谱、检测固体内部的成像等。
声学信号检测使用。
● 当固体样品受到光的间歇照射时，样品吸收光能，成为热源，并将其转化为热能。
● 热能导致密封容器内的压力波动，麦克风将其检测为声信号。
● 光照射信号从函数发生器（NF WF1973）输出并输入到AOM。
● 使用锁定放大器测量麦克风信号。参考信号使用与AOM调制器调制的调制入射光相同的频率。
● 在锁相放大器的测量结果中、振幅代表吸收的光能的量、相位差代表声波产生相对于间歇入射光的延迟。
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